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國產設備關鍵字列表

  • 低價不應成為國產半導體設備的基因

    在極大規模集成電路制造裝備及成套工藝專項（簡稱“集成電路專項”）以及其他國家相關產業政策的推動下，近年來我國半導體設備產業取得較快進步，部分關鍵設備從無到有，實現了與國際先進技術水平的同步發展。

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